[发明专利]湿法腐蚀导流槽装置及其使用方法

摘要

本发明提供了一种湿法腐蚀导流槽装置及其使用方法，包括：杯形容器、导流槽、磁力转子、基板、基片、若干插槽、若干不同形状滤网、若干插槽盖，其中：导流槽顶端的半环形挂钩处紧挂杯形容器的杯壁口并固定，磁力转子紧贴杯形容器的底部，且磁力转子的转轴与杯形容器的中心轴相同；基板面上均匀紧贴一基片；基板插入若干插槽中的任意一个，若干不同形状滤网随机选择一个或多个插入其他插槽中；插槽没有插满的用插槽盖盖上；其中一个插槽两侧均匀布满小孔。本发明提供了一种使溶液及其流速更加均匀的可替换的滤网装置，实现了基片在插槽不同位置不同的腐蚀效果。

主权项

一种湿法腐蚀导流槽装置，其特征在于，包括：杯形容器、导流槽、磁力转子、顶部有盖的基板、可贴紧在基板的基片以及若干滤网，其中：磁力转子紧贴于杯形容器的底部；导流槽紧贴杯形容器的侧壁；导流槽的下部为一内部空腔的扇环形结构，该扇环形结构的上部设有若干相同大小的插槽；基片紧贴于基板上，紧贴有基片的基板插入若干相同大小的插槽中任意一个；若干滤网随机插入一个或者多个剩余插槽中。