[发明专利]一种柔性射频应变可调无源高通滤波器及其制造方法

摘要

一种柔性射频应变可调无源高通滤波器及其制造方法，滤波器的衬底为柔性衬底，衬底上设置有低介电常数绝缘层，低介电常数绝缘层内设置有电容和电感的输入电极，低介电常数绝缘层的上端设置有滤波器输入端、电容输入端、电容输出端、电感输入端、滤波器输出端、电感以及地线，滤波器输入端连接电容输入端，电容输出端连接电感输入端，电感输入端连接滤波器输出端，电容输入端还连接电容的一端，电容输出端还连接电容的另一端，电感输入端和电感的一端分别连接设置在低介电常数绝缘层内的电感的输入电极，电感的另一端构成输出端连接地线。本发明结构简单，灵敏度高，并且有很少的寄生效应。电容和电感连接一起可以实现高通滤波的功能。

主权项

一种柔性射频应变可调无源高通滤波器，包括衬底(1)，其特征在于，所述的衬底(1)为柔性衬底，所述衬底(1)上设置有低介电常数绝缘层(2)，所述的低介电常数绝缘层(2)内设置有金属‑绝缘层‑金属结构的电容和电感(10)的输入电极，所述低介电常数绝缘层(2)的上端分别设置有滤波器输入端(11)、电容输入端(7)、电容输出端(8)、电感输入端(9)、滤波器输出端(12)、电感(10)以及地线(14)，其中，所述的滤波器输入端(11)通过一金属互连线(13)连接电容输入端(7)，所述电容输出端(8)通过一金属互连线(13)连接电感输入端(9)，所述电感输入端(9)通过一金属互连线(13)连接滤波器输出端(12)，所述电容输入端(7)还通过一金属互连线连接电容的一端，所述电容输出端(8)还通过一金属互连线连接电容的另一端，所述电感输入端(9)和电感(10)的一端分别各通过一金属互连线连接设置在所述低介电常数绝缘层(2)内的电感(10)的输入电极，所述电感(10)的另一端构成输出端通过一金属互连线连接地线(14)。