[发明专利]基于MEMS工艺的细胞微阵列结构及其制备方法在审
| 申请号： | 201510430395.3 | 申请日： | 2015-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN104961094A | 公开（公告）日： | 2015-10-07 |
| 发明（设计）人： | 周晓峰;梁盛林;车录锋;孟祥 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B82Y5/00;B82Y15/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于MEMS工艺的细胞微阵列结构及其制备方法，所述结构分为槽型结构、柱型结构。所述槽型结构主要通过一次DRIE干法刻蚀结合热氧化工艺实现；柱型结构主要通过两次DRIE干法刻蚀结合热氧化工艺实现，且其阵列单元中的硅微纳米线只位于柱顶端；以上结构所采用的制备方法均为成熟的MEMS工艺，具有制作成本低、制作周期短、可批量制作等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 工艺 细胞 阵列 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于MEMS工艺的细胞微阵列结构制备方法，其特征在于：该方法至少包括以下步骤：1)提供一硅衬底；2)在所述硅衬底上表面旋涂光刻胶，光刻并显影形成图形化阵列结构；3)采用DRIE刻蚀工艺在所述硅衬底上形成硅微纳米线；4)进行热氧化工艺。
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