[发明专利]一种SPC策略自动更新方法及SPC自动策略系统有效
| 申请号： | 201510435372.1 | 申请日： | 2015-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN105159239B | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | 余燕萍;邵雄 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种SPC策略自动更新方法及SPC自动策略系统，能够直接从MES系统中抓取数据采集规格信息，并在原有SPC策略的基础上，根据数据采集规格信息的修改类型，自动进行SPC策略添加、删除和修改，以快速完成SPC策略的更新，不仅可以大大减少工程师手动更新SPC策略时的计算、查询、输入等工作量和工作时间，而且还可以减少手动更新时产生的误操作，杜绝人工更新的错误率。后续检验SPC策略修正的正确性的过程可以进一步降低更新策略的错误率，提高策略的可靠性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 spc 策略 自动更新 方法 自动 系统 | ||
【主权项】：
一种SPC策略自动更新方法，包括从生产制造执行系统中抓取数据采集规格信息；其特征在于，还包括：根据所述数据采集规格信息的修改类型进行不同程度的SPC策略修正：若数据采集规格信息的修改类型为添加新的工艺参数，则保持SPC策略中原有工艺参数的配置数据不变，并按照预设更新公式在SPC策略中自动添加所述新的工艺参数的配置数据；若数据采集规格信息的修改类型为删除工艺参数，则在SPC策略中自动删除对应的工艺参数的配置数据，并保持其余工艺参数的配置文件数据；若数据采集规格信息的修改类型为修改工艺参数的数值，则在SPC策略中修改该工艺参数配置数据中的中间限值。
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