[发明专利]一种热源并联式碳化硅合成炉

摘要

本发明公开了一种热源并联式碳化硅合成炉，包括炉底，所述炉底上设置有环绕一周形成矩形围挡的保温外墙，所述炉底上方且位于保温外墙内侧从下至上依次设置有底部透气层和保温透气层，所述底部透气层上且位于保温透气层的左右两侧均设置有带孔隙保温内墙，所述保温透气层上设置有与带孔隙保温内墙平行的n个隔断墙，左侧带孔隙保温内墙的外壁与保温外墙左侧内壁之间、右侧带孔隙保温内墙的外壁与保温外墙右侧内壁之间以及隔断墙的两个带孔隙保温墙之间均设置有中空排气层。本发明的合成炉结构设计合理，不仅能够有效降低炉内压力，并且能使热量不易散失，从而在保温的前提下，降低喷炉事故的发生，减少一氧化碳气体对人员的伤害。

主权项

一种热源并联式碳化硅合成炉，其特征在于，包括炉底(14)，所述炉底(14)上设置有环绕一周形成矩形围挡的保温外墙(8)，所述炉底(14)上方且位于保温外墙(8)内侧从下至上依次设置有底部透气层(15)和保温透气层(7)，所述底部透气层(15)上且位于保温透气层(7)的左右两侧均设置有带孔隙保温内墙(16)，所述带孔隙保温内墙(16)的两端均与保温外墙(8)紧密接触，所述保温透气层(7)上设置有与带孔隙保温内墙(16)平行的n个隔断墙，n个隔断墙将合成炉分隔成n+1个独立的单热源炉(1)，其中n为正整数，所述隔断墙包括两个平行设置的带孔隙保温墙(5)，所述单热源炉(1)内且位于保温外墙(8)的内壁上和单热源炉(1)内且位于带孔隙保温内墙(16)的内壁上均设置有碳粉层(4)，所述单热源炉(1)上方设置有用于密封单热源炉(1)顶部的密封顶盖(3)，左侧带孔隙保温内墙(16)的外壁与保温外墙(8)左侧内壁之间、右侧带孔隙保温内墙(16)的外壁与保温外墙(8)右侧内壁之间以及隔断墙的两个带孔隙保温墙(5)之间均设置有中空排气层(6)，所述中空排气层(6)上方设置有与中空排气层(6)相连通的导气管(10)，所述单热源炉(1)上方设置有与导气管(10)相连通的气体收集器(9)，所述气体收集器(9)上设置有用于将收集的气体排出的泄气管(11)。