[发明专利]激光加工方法以及激光加工装置有效
申请号: | 201510441207.7 | 申请日: | 2001-09-13 |
公开(公告)号: | CN105108349B | 公开(公告)日: | 2018-02-23 |
发明(设计)人: | 福世文嗣;福满宪志;内山直己;和久田敏光 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | B23K26/38 | 分类号: | B23K26/38;B23K26/53;B23K26/04;B23K26/402;C03B33/09 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 | 代理人: | 杨琦,沈娟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供能够在加工对象物的表面上不发生熔融或者偏离切割预定线的分割而切割加工对象物的激光加工方法以及激光加工装置,其中,在引起多光子吸收的条件下而且在加工对象物(1)的内部对准聚光点(P),在加工对象物(1)的表面(3)的切割预定线(5)上照射脉冲激光(L),通过使聚光点(P)沿着切割预定线(5)移动,沿着切割预定线(5)在加工对象物(1)的内部形成改质区,通过从改质区开始,沿着切割预定线(5)分割加工对象物(1),能够用比较小的力切割加工对象物(1),由于在激光(L)的照射过程中,在加工对象物(1)的表面(3)上几乎不吸收脉冲激光(L),因此即使形成改质区也不会熔融表面(3)。 | ||
搜索关键词: | 激光 加工 方法 以及 装置 | ||
【主权项】:
一种切割方法,特征在于:在光透射性材料的内部对准聚光点,将脉冲状的激光聚光并照射,沿着所述光透射性材料的切割图形移动激光的聚光点,在所述光透射性材料的表面以及背面不发生损伤的情况下,按照通过改变所述激光的重复频率与所述光透射性材料的移动速度的关系而被调节的间隔,仅在所述光透射性材料的内部沿着所述聚光点的移动方向形成裂纹,使沿着所述切割图形形成的所述裂纹向所述光透射性材料的表面以及背面生长,从而沿着所述切割图形切割所述光透射性材料,进一步,在沿着所述切割图形形成所述裂纹之后,具备:通过向所述光透射性材料施加物理外力,使仅在光透射性材料的内部形成的所述裂纹向表面以及背面生长,从而切割所述光透射性材料的工序。
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