[发明专利]结构体、其制造方法和塔尔博干涉仪有效
| 申请号： | 201510442291.4 | 申请日： | 2015-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN105280263B | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 手岛隆行;冈有纱 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G21K1/06 | 分类号： | G21K1/06;H05H1/46;G01N23/04 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 石宝忠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 结构体，其包括：具有多个凹部的硅基板，每个凹部具有底部和侧壁；硅化物层，每个硅化物层与凹部的底部接触；和包括金属部的金属结构体，每个金属部设置在凹部中并且与硅化物层接触。通过硅基板将硅化物层彼此电连接。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 制造 方法 塔尔博 干涉仪 | ||
【主权项】：
1.X射线塔尔博干涉仪，包括：能够将来自X射线源的X射线辐射衍射以形成干涉图案的X射线衍射格栅；能够将形成干涉图案的X射线辐射部分地屏蔽的X射线屏蔽格栅，和能够检测来自X射线屏蔽格栅的X射线辐射的X射线检测器，其中X射线屏蔽格栅包括：具有多个凹部的硅基板，每个凹部具有底部和侧壁；硅化物层，每个硅化物层设置在凹部中并且与凹部的底部接触；和包括金属部的金属结构体，其各自设置在凹部中。
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