[发明专利]组合薄膜制备及原位表征系统在审
| 申请号： | 201510446068.7 | 申请日： | 2015-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN105132864A | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 郇庆;何格;袁洁;金魁;刘利 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/28;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;冯丽欣 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了一种组合薄膜制备及原位表征系统，包括：生长腔，所述生长腔中设有组合薄膜生长装置，用于在基片上生长组合薄膜；至少一个表征腔，所述表征腔中设有组合薄膜表征装置；准备腔，用于对所述基片、样品以及测试探针进行预处理；中转腔，所述中转腔同生长腔、表征腔以及准备腔之间分别通过管道连接，所述管道设有阀门；机械臂，用于在所述中转腔、表征腔以及生长腔之间传递样品。该系统复用中转腔实现不同腔室之间的真空互联，从而可以实现原位表征和准原位表征。 | ||
| 搜索关键词： | 组合 薄膜 制备 原位 表征 系统 | ||
【主权项】：
一种组合薄膜制备及原位表征系统，包括：生长腔，所述生长腔中设有组合薄膜生长装置，用于在基片上生长组合薄膜；至少一个表征腔，所述表征腔中设有组合薄膜表征装置；准备腔，用于对所述基片进行预处理；中转腔，所述中转腔同生长腔、表征腔以及准备腔之间分别通过管道连接，所述管道设有阀门；机械臂，用于在所述中转腔、表征腔以及生长腔之间传递样品。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院物理研究所，未经中国科学院物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510446068.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
