[发明专利]一种有机发光二极管阵列基板、制备方法及显示装置有效
申请号: | 201510446925.3 | 申请日: | 2015-07-27 |
公开(公告)号: | CN104966723B | 公开(公告)日: | 2018-03-23 |
发明(设计)人: | 方金钢;刘晓娣;王东方;辛龙宝 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77;H01L27/32 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司11138 | 代理人: | 祝亚男 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种有机发光二极管阵列基板、制备方法及显示装置,属于显示技术领域。所述方法包括在基板的像素驱动层上依次形成反射底电极薄膜、第一微腔调整层薄膜及第二微腔调整层薄膜;采用一次构图工艺在基板上形成反射底电极图形和厚度不同的微腔调整层;在微腔调整层上依次形成发光功能层和顶电极层。所述微腔调整层包括所述第一微腔调整层,或,包括所述第一微腔调整层和所述第二微腔调整层。本发明依次在基板的像素驱动层上形成反射底电极薄膜、第一微腔调整层薄膜及第二微腔调整层薄膜,通过一次构图工艺即可在基板上形成反射底电极图形及厚度不同的微腔调整层,简化了生产工艺,节省了生产成本,且所形成的微腔调整层的精度更高。 | ||
搜索关键词: | 一种 有机 发光二极管 阵列 制备 方法 显示装置 | ||
【主权项】:
一种有机发光二极管阵列基板的制备方法,其特征在于,所述方法包括:在基板的像素驱动层上依次形成反射底电极薄膜、第一微腔调整层薄膜及第二微腔调整层薄膜;采用一次构图工艺在基板上形成反射底电极图形和厚度不同的微腔调整层,所述一次构图工艺包括两次刻蚀处理;在所述微腔调整层上依次形成发光功能层和顶电极;其中,所述微腔调整层包括所述第一微腔调整层,或,包括所述第一微腔调整层和所述第二微腔调整层;所述有机发光二极管阵列基板包括多个像素,每个像素包括红色子像素、蓝色子像素和绿色子像素;其中,所述红色子像素和所述蓝色子像素对应同时设置有所述第一微腔调整层和所述第二微腔调整层的区域,所述绿色子像素对应仅设置有所述第一微腔调整层的区域。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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