[发明专利]靶材组件的表面处理方法和工具有效
| 申请号： | 201510447283.9 | 申请日： | 2015-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN106378493B | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;李健成 | 申请（专利权）人： | 合肥江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B23D79/00 | 分类号： | B23D79/00;B23K3/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高静;吴敏 |
| 地址： | 安徽省合肥市新站区东方大道与大禹路*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种靶材组件的表面处理方法和工具，其中所述表面处理方法包括：提供第一刀具，所述第一刀具包括具有尖形顶角的楔形刀头；提供第二刀具，所述第二刀具包括圆锥形刀头；提供靶材组件，所述靶材组件包括靶材、背板和位于所述靶材和背板之间的焊缝，所述焊缝中形成有焊料；采用楔形刀头去除溢出所述焊缝的焊料；采用圆锥形刀头去除位于所述焊缝预设深度内的焊料。在形成靶材组件后，本发明通过先采用楔形刀头去除溢出所述焊缝的焊料，再采用圆锥形刀头去除位于所述焊缝预设深度内的焊料，使形成的靶材组件外观达到预设标准，同时避免在后续溅射工艺中，焊缝内的焊料因高温工艺环境而继续从焊缝中熔解溢出，进而提高了靶材组件的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 表面 处理 方法 工具 | ||
【主权项】：
1.一种靶材组件的表面处理方法，其特征在于，包括：提供第一刀具，包括：提供第一钢棒；对所述第一钢棒的一端进行处理形成第一刀头，未被处理的第一钢棒构成第一刀杆，所述第一刀头为楔形；提供第二刀具，包括：提供第二钢棒；对所述第二钢棒的一端进行处理形成第二刀头，未被处理的第二钢棒构成第二刀杆，所述第二刀头为锥形；提供靶材组件，所述靶材组件包括靶材、背板和位于所述靶材和背板之间的焊缝，所述焊缝中形成有焊料；采用所述第一刀具的第一刀头去除溢出所述焊缝的焊料；采用所述第二刀具的第二刀头去除位于所述焊缝预设深度内的焊料。
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