[发明专利]一种光纤刻蚀光栅传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 201510447802.1 | 申请日： | 2015-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN106404010A | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 冉曾令;杨科;吴学忠 | 申请（专利权）人： | 冉曾令;杨科;吴学忠 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26;G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光纤刻蚀光栅传感器及其制作方法，所述传感器包括，在光纤端面刻上周期性凹槽，形成光纤光栅传感器。提供一种上述光纤光栅传感器的制作方法，可以制成各种灵敏度的光纤光栅传感器，探测设备的搭建，把宽带光源接环形器一端口，光纤接环形器二端口，光谱仪接环形器三端口。把光纤放在移动平台上，放上掩模板。用157nm激光器通过掩模板，在光纤上方，刻蚀出周期性的凹槽，周期为20um，凹槽缝宽为10um，深度为62.5um，栅区为2mm。通过光谱仪检测峰值的变化，当光谱仪出现尖峰的时候，停止刻蚀，就构成了一个光纤光栅传感器。该方法简单，灵敏度高，体积小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光纤 刻蚀 光栅 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种光纤刻蚀光栅传感器，包括，在光纤端面刻上周期性凹槽，形成光纤光栅传感器。
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