[发明专利]一种非制冷红外焦平面探测器的光电敏感单元有效
| 申请号： | 201510449198.6 | 申请日： | 2015-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN105004430B | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 胡旭;杨春丽;雷晓红;魏虹;王冰;韩福忠;秦强;吴思晋 | 申请（专利权）人： | 昆明物理研究所 |
| 主分类号： | G01J5/10 | 分类号： | G01J5/10 |
| 代理公司： | 53100 昆明正原专利商标代理有限公司 | 代理人： | 徐玲菊<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 650223 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种非制冷红外焦平面探测器的光电敏感单元，旨在提供一种测量分辨率高、灵敏度高的非制冷红外焦平面探测器的光电敏感单元。它包括由半透明金属层、有机介质层及反射金属层叠置构成的谐振腔，以及固定设置于谐振腔下方用于实现光电信号转换的探测器单元；所述谐振腔的半透明金属层、有机介质层及反射金属层中至少一层设置有镂空的线条和/或图形。本发明通过对谐振腔的相应层进行镂空，有效减小谐振腔的热串扰，提高探测器单元的空间分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振腔 非制冷红外焦平面探测器 半透明金属层 探测器单元 有机介质层 敏感单元 镂空 光电信号转换 测量分辨率 反射金属层 空间分辨率 反射金属 固定设置 灵敏度 串扰 减小 线条 | ||
【主权项】：
1.一种非制冷红外焦平面探测器的光电敏感单元，使用时通过上电极引线及下电极引线与信号处理电路模块连接；其包括谐振腔，以及固定设置于谐振腔下方用于实现光电信号转换的探测器单元；其特征在于：信号处理电路模块设于探测器单元下方，作为垂直支撑结构；谐振腔由依次设置的半透明金属层、有机介质层及反射金属层叠置构成；所述谐振腔的半透明金属层、有机介质层及反射金属层中至少一层设置有镂空的线条和/或图形；所述线条为直线和曲线，其中，谐振腔是在上下极板的垂直电场作用下氧气和氩气的等离子体的物理化学作用，使得光刻胶没有掩蔽的图形部分被垂直刻蚀，使得谐振腔被刻蚀穿，谐振腔表面形成光刻胶掩蔽的图形，光刻胶没有掩蔽的图形部分被垂直刻蚀，谐振腔蚀穿后作为一个整体，使得谐振腔的热串扰能够有效减小，探测器单元的空间分辨率提高。/n
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