[发明专利]一种基于体硅材料的外力驱动MEMS开关及其制作方法在审
| 申请号： | 201510453804.1 | 申请日： | 2015-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN104992879A | 公开（公告）日： | 2015-10-21 |
| 发明（设计）人： | 韩磊;高晓峰 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00;H01H11/00 |
| 代理公司： | 江苏永衡昭辉律师事务所 32250 | 代理人： | 王斌 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于体硅材料的外力驱动MEMS开关及其制作方法，该外力驱动MEMS开关包括衬底（5）、设置在衬底上的微带线的信号线（1）、设置在衬底下的微带线的地（2）、开关动端（3）、开关静端（4）；当该外力驱动MEMS开关处于不工作状态时，开关动端（3）与开关静端（4）接触，整个微带传输线呈现导通状态，此时微波信号可以几乎不产生损耗地通过该外力驱动MEMS开关；当该外力驱动MEMS开关处于工作状态时，开关动端（3）通过探针的外力作用被压下而与开关静端（4）不接触，此时微波信号的通路被切断，同时微波信号可以从探针处被引出用于信号测量。同时，我们设计出了用于制造这种基于体硅材料的外力驱动MEMS开关的具体工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 材料 外力 驱动 mems 开关 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种基于体硅材料的外力驱动MEMS开关，其特征在于：包括衬底（5）、设置在衬底上的微带线的信号线（1）、开关动端（3）、开关静端（4）；所述微带线的信号线（1）中间部分断开，所述开关动端（3）和所述开关静端（4）分别与所述微带线的信号线（1）中间断开部分两端的信号线连接；所述开关动端（3）与所述开关静端（4）均沿着垂直衬底（5）的方向延伸，并组成开关结构；所述开关动端（3）为末端能够变形的弹簧结构；当二者连通时，所述开关动端（3）的弹簧末端正好与所述开关静端（4）的末端接触。
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