[发明专利]烘烤单元、包括该单元的基板处理设备以及基板处理方法在审
| 申请号： | 201510454490.7 | 申请日： | 2015-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN105321853A | 公开（公告）日： | 2016-02-10 |
| 发明（设计）人： | 严基象;徐钟锡 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 张瑞;郑霞 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明构思涉及烘烤单元、包括该单元的基板处理设备以及基板处理方法。烘烤单元包括：壳体；加热单元，加热单元位于壳体中并且包括加热基板的加热板；传送单元，其位于壳体中并且传送基板；以及冷却单元，其冷却加热板或已加热的基板。传送单元包括基板放置在其上的传送板，并且冷却单元被提供给传送板。 | ||
| 搜索关键词： | 烘烤 单元 包括 处理 设备 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种烘烤单元，包括：壳体；加热单元，其位于所述壳体中，所述加热单元包括加热基板的加热板；传送单元，其位于所述壳体中，所述传送单元传送基板；以及冷却单元，其冷却所述加热板或加热过的基板，其中，所述传送单元包括：基板放置在其上的传送板，并且其中，所述冷却单元被提供给所述传送板。
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