[发明专利]一种扩散进出炉自动推拉舟系统装置

摘要

本发明涉及一种扩散进出炉自动推拉舟系统装置。它包括扩散炉、滑座、调速电机、滑块、丝杆、机械臂、推拉杆、机械手，扩散炉一侧装有滑座，滑座内装有滑块，滑块内装有丝杆，丝杆一端装有调速电机，滑座外侧装有推拉杆，推拉杆一端通过圆销连接滑块上端，推拉杆另一端穿过导轮支撑连接机械臂，机械臂下端连接机械手；滑座上端左侧装有第一停止感应光偶，滑座上端右侧装有第二停止感应光偶，第一停止感应光偶右侧10cm处装有减速感应光偶，推拉杆右端上面装有感应块。优点是简单方便，通过本装置匀速控制物品进入扩散炉，保证晶片在进出炉过程中内外温差较小，减小热应力，扩散后硅片碎片少，且结面线性良好，结深一致性好。

主权项

一种扩散进出炉自动推拉舟系统装置，它包括扩散炉、滑座、调速电机、滑块、丝杆、机械臂、推拉杆、机械手，其特征是扩散炉一侧装有滑座，滑座内装有滑块，滑块内装有丝杆，丝杆一端装有调速电机，滑座外侧装有推拉杆，推拉杆一端通过圆销连接滑块上端，推拉杆另一端穿过导轮支撑连接机械臂，机械臂下端连接机械手；滑座上端左侧装有第一停止感应光偶，滑座上端右侧装有第二停止感应光偶，第一停止感应光偶右侧10cm处装有减速感应光偶，推拉杆右端上面装有感应块；所述的机械手包括销杆、锁紧螺钉、固定夹、活动夹、螺钉和橡胶垫，销杆一端贯穿机械臂下端，锁紧螺钉旋紧装在机械臂底部把销杆固定压紧，销杆另一端连接固定夹，固定夹是L型状，固定夹上端装有活动夹，螺钉从固定夹下端贯穿且上端旋入活动夹内，活动夹和固定夹内侧都开有V型夹口，V型夹口内侧装有橡胶垫。