[发明专利]一种维持镀膜机连续工作的晶振片更换系统及其更换工艺

摘要

本发明涉及一种真空状态下对镀膜机实行设备自动更换的更换装置领域，尤指一种不影响镀膜机工作的一种维持镀膜机连续工作的晶振片更换系统及其更换工艺，所述的更换系统主要包括从上往下安装的晶振片更换机构、插板装置和镀膜机炉体，晶振片更换机构主要由磁力传递杆装置、磁力传递杆滑块、封顶上盖和晶振片治具组成，磁力传递杆装置包括装载套筒、传输细杆和上、下底板，晶振片治具套设在装载套筒内，治具体装载有晶振片，上端轴向固定安装有长杆、内滑块，内滑块为与磁力传递杆滑块磁性相吸的磁体，形成晶振片治具与磁力传递杆滑块沿装载套筒内外联动滑动的运动结构；本发明缩短了调节气压和停机更换的时间，同时提高了工作效率与生产产能。

主权项

一种维持镀膜机连续工作的晶振片更换系统，其特征在于：所述的更换系统包括从上往下安装的晶振片更换机构、插板装置和镀膜机炉体，其中，所述的晶振片更换机构由磁力传递杆装置、磁力传递杆滑块、封顶上盖和晶振片治具组成， 所述的磁力传递杆装置包括装载套筒、传输细杆和上、下底板，装载套筒为中空内通的长筒状结构，传输细杆平行设置在装载套筒旁侧，上、下底板连接在装载套筒与传递细杆的上、下两端，且两底板开设有与装载套筒内通径大小一致且相互贯通的贯通孔，形成装载套筒与两底板上下贯穿；所述的封顶上盖安装在上底板顶部，以密封磁力传递杆装置的顶端； 所述的磁力传递杆滑块为带有磁力的永磁体，由平行设置的两滑板及垂直安装在两滑板之间的滑杆组成，同时，两滑板与滑杆分别轴套连接在磁力传递杆装置的装载套筒、传输细杆的外侧壁上，形成磁力传递杆滑块可沿磁力传递杆装置上下滑动的安装结构； 所述的晶振片治具套设在装载套筒内，其治具体装载有晶振片，治具体上端轴向固定安装有长杆、内滑块，内滑块为与磁力传递杆滑块磁性相吸的磁体，且内滑块外侧与装载套筒内壁间隙配合，形成晶振片治具与磁力传递杆滑块沿装载套筒内外联动滑动的运动结构； 所述的插板装置由依次轴向安装的三通管件、法兰盘一、插板阀、法兰盘二组成，三通管件连接在磁力传递杆装置下方，且三通管件的上通口正对磁力传递杆装置的下底板通孔，下通口正对法兰盘的中心孔，所述插板阀通过上凸起圆环、下凸起圆环与闸门组合形成插板阀开关，且闸门设置在两凸起圆环之间。