[发明专利]靶材组件的制造方法在审
| 申请号： | 201510456002.6 | 申请日： | 2015-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN106702333A | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;袁海军 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 高静,吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种靶材组件的制造方法，包括提供靶材、背板和缓冲层，所述缓冲层的热膨胀系数介于所述靶材的热膨胀系数与背板的热膨胀系数之间；将所述靶材、缓冲层和背板进行装配形成初始组件，在所述初始组件中，所述缓冲层位于所述靶材和背板之间且分别与所述靶材和背板相接触；将所述初始组件进行扩散焊接，形成靶材组件。本发明通过在靶材与背板之间加入热膨胀系统介于两者之间的缓冲层，起到应力缓冲的作用；与背板相比，所述靶材与缓冲层的热膨胀系数相近，在扩散焊接中当高温冷却至室温时，靶材和缓冲层的扩散界面由于拉伸产生的应力较小，从而避免靶材的断裂，进而提高了靶材组件的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材组件的制造方法，其特征在于，包括：提供靶材、背板和缓冲层，所述缓冲层的热膨胀系数介于所述靶材的热膨胀系数与背板的热膨胀系数之间；将所述靶材、缓冲层和背板进行装配形成初始组件，在所述初始组件中，所述缓冲层位于所述靶材和背板之间且分别与所述靶材和背板相接触；将初始组件进行扩散焊接，形成靶材组件。
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