[发明专利]一种大面积类金刚石化学气相沉积镀膜生产线

摘要

本发明提出了一种大面积类金刚石化学气相沉积镀膜生产线，其特征在于包括依次连接的进升降架、进初抽气室、进精抽室、进调气室、进过渡室、工艺室、出过渡室、出调气室、出精抽室、出初抽气室、出升降架、与工件架适配的工件回行轨道组成连续循环生产的运行回路，所述进初抽气室连接第一抽气系统；所述进精抽室第二抽气系统；所述进调气室连接第三抽气系统；进过渡室、工艺室以及出过渡室均与第四抽气系统连接；所述出调气室与第五抽气系统连接、出精抽室与第六抽气系统连接、所述出初抽气室与第七抽气系统连接。本发明的大面积类金刚石化学气相沉积镀膜生产线，结构设计简单、紧凑，产品产量大、生产成本低、膜层均匀性好、工艺可开发性强。

主权项

一种大面积类金刚石化学气相沉积镀膜生产线，其特征在于包括依次连接的进升降架、进初抽气室、进精抽室、进调气室、进过渡室、工艺室、出过渡室、出调气室、出精抽室、出初抽气室、出升降架、与工件架适配的工件回行轨道组成连续循环生产的运行回路，所述进初抽气室连接第一抽气系统；所述进精抽室第二抽气系统；所述进调气室连接第三抽气系统；进过渡室、工艺室以及出过渡室均与第四抽气系统连接；所述出调气室与第五抽气系统连接、出精抽室与第六抽气系统连接、所述出初抽气室与第七抽气系统连接。