[发明专利]一种真空旋转基片承载盘有效
| 申请号： | 201510457426.4 | 申请日： | 2015-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN105018893B | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 廖良生;武启飞;陈敏 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司32102 | 代理人： | 陆明耀,陈忠辉 |
| 地址： | 215222 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明揭示了一种真空旋转基片承载盘，包括磁流体主体，所述磁流体主体下方通过转动轴依次连接有基片盘、掩膜盘及挡板，挡板与掩膜盘相对转动，磁流体主体的上方套设有一转动把手，所述把手与磁流体主体之间设置有定位盘，所述转动把手转动带动磁流体主体转动，所述基片盘上开设有基片孔，所述基片孔下设置有基片托盘，所述挡板上于基片孔相应位置开设有孔，所述掩膜盘上通过磁性连接有掩膜板，所述转动把手上连接有一指针，所述转动把手转动带动指针在定位盘上进行指示。本发明的承载盘上集成的功能多，可放置四个基片，可在线更换掩膜板，通过定位盘可准确定位，且使用时精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 旋转 承载 | ||
【主权项】：
一种真空旋转基片承载盘，其特征在于：包括磁流体主体，所述磁流体主体下方通过转动轴依次连接有基片盘、掩膜盘及挡板，所述挡板与掩膜盘相对转动，所述磁流体主体的上方套设有一转动把手，所述把手与磁流体主体之间设置有定位盘，所述转动把手转动带动磁流体主体转动，所述基片盘上开设有基片孔，所述基片孔下设置有基片托盘，所述挡板上于基片孔相应位置开设有孔，所述掩膜盘上通过磁性连接有掩膜板，所述转动把手上连接有一指针，所述转动把手转动带动指针在定位盘上进行指示，所述磁流体主体上设置有冷却水接口。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏集萃有机光电技术研究所有限公司，未经江苏集萃有机光电技术研究所有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510457426.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
