[发明专利]一种金属遮罩的对位方法在审
| 申请号： | 201510458096.0 | 申请日： | 2015-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN105132859A | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 施宏欣 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种金属遮罩的对位方法，包括：提供一磁铁板；形成多个OLED基板于磁铁板的上方；形成一精细金属遮罩于OLED基板的上方；根据OLED基板的数量以及尺寸大小，将精细金属遮罩至少分割为第一直排群组和第二直排群组；以及提供一蒸镀源依次对不同的直排群组进行蒸镀，以定义单一颜色的子像素图案。相比于现有技术，本发明使用直排群组方式的精细金属遮罩与OLED基板进行对位，藉由不同的直排群组遮罩分次蒸镀定义单一颜色的子像素图案，由于直排群组遮罩的尺寸较小，在制作上相较于整块遮罩的制作容易，因此可提高直排群组遮罩和OLED基板的对位容忍度，从而降低或消除相邻像素间的混色风险，增加整体基板的产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 对位 方法 | ||
【主权项】：
一种金属遮罩的对位方法，适于高分辨率的OLED显示器，其特征在于，该对位方法包括以下步骤：提供一磁铁板；形成多个OLED基板于所述磁铁板的上方；形成一精细金属遮罩于所述OLED基板的上方；根据所述OLED基板的数量及每个OLED基板的尺寸，将所述精细金属遮罩至少分割为第一直排群组和第二直排群组；以及提供一蒸镀源依次对所述第一直排群组和所述第二直排群组进行蒸镀，以定义单一颜色的子像素图案。
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