[发明专利]一种自动放行WATPM探针卡的系统及方法有效
申请号: | 201510460280.9 | 申请日: | 2015-07-30 |
公开(公告)号: | CN105097597B | 公开(公告)日: | 2018-02-27 |
发明(设计)人: | 赵朝珍;周波 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275 | 代理人: | 吴世华,陈慧弘 |
地址: | 201210 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种自动放行WAT PM探针卡的系统及方法,通过建立自动放行WAT PM探针卡的系统,可实时地抓取PM探针卡的数据检查结果存入数据库,并可根据系统内各个验收检查项目的设定值判断是否放行,待各项检查均符合规格值后,系统可自动对该PM探针卡的状态进行切换,并可通过内部邮件发出放行的指令;可有效地提高工作效率,减少PM探针卡放行的时间,同时也减少了工程师的工作量和工作时间,从长远来讲提高了探针卡可使用时间的比率。 | ||
搜索关键词: | 一种 自动 放行 wat pm 探针 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种自动放行WAT PM探针卡的系统,其特征在于,包括:存储模块,将获取的针对WAT PM探针卡包括射频识别的牢固性、基座的完好、漏电、针尖直径、探针角度在内的各项验收检查项目的数据检查结果实时存入数据库;判断模块,根据系统中针对PM探针卡各项验收检查项目预先设定的规格值,对所述数据库中的各项数据检查结果进行逐一的符合性判断,并输出判断结果;处理模块,根据所述判断结果,发出是否放行的指令;其中,所述处理模块在全部的检查数据结果符合规格值时,发出放行的指令,并针对每一个不符合规格值的检查数据结果,逐一发出不予放行的指令。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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