[发明专利]流量控制装置和流量控制方法有效
申请号: | 201510463267.9 | 申请日: | 2015-07-31 |
公开(公告)号: | CN105320161B | 公开(公告)日: | 2020-04-21 |
发明(设计)人: | 瀧尻兴太郎;田中祐纪;家城笃史 | 申请(专利权)人: | 株式会社堀场STEC |
主分类号: | G05D7/06 | 分类号: | G05D7/06 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 鹿屹;李雪春 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供流量控制装置和流量控制方法,所述流量控制装置不设置用于检测压力变化的附加传感器,即使在阀的上游产生压力变化,也能够使其影响不表现在所述阀的下游,从而使流量持续稳定为设定流量值,所述流量控制装置包括:阀(3);流量传感器(2);阀控制部(41),根据设定流量值与由所述流量传感器(2)测量出的测量流量值之间的偏差和设定的控制系数,以使所述偏差变小的方式控制所述阀;以及控制系数设定部(44),设定所述阀控制部的所述控制系数,在所述阀(3)的上游产生扰动压力上升时,使与阀的开度的减少量相当的扰动流量减少量和与所述阀前后的压差的增加量相当的扰动流量增加量均衡。 | ||
搜索关键词: | 流量 控制 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种流量控制装置,其特征在于,包括:阀,设置在流体流动的流道内;流量传感器,在所述流道内设置在比所述阀靠向上游;以及阀控制部,根据设定流量值与由所述流量传感器测量出的测量流量值之间的偏差和设定的控制系数,以使所述偏差变小的方式控制所述阀,所述控制系数是以如下方式设定的值,在所述阀的上游产生扰动压力上升时,使作为与所述阀的开度的减少量对应的流量减少量的扰动流量减少量和作为与所述阀前后的压差的增加量对应的流量增加量的扰动流量增加量实质上均衡。
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