[发明专利]一种基于纳米光栅检测的高Q值微机械陀螺结构有效
| 申请号： | 201510465969.0 | 申请日： | 2015-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN105066979B | 公开（公告）日： | 2018-05-22 |
| 发明（设计）人： | 李孟委;王莉;王宾;吴倩楠;王高 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01C19/5649 | 分类号： | G01C19/5649;G01C19/5656 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 皋吉甫 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及微惯性导航技术相关领域，具体而言，涉及一种基于纳米光栅检测的高Q值微机械陀螺结构。所述微机械陀螺结构具有一设置固定纳米光栅的凸台，所述凸台实现减小下层固定结构和上层可动结构间的交叠面积。本发明将下层固定光栅设置在一个凸台上，减小了下层固定结构与上层可动结构间的交叠面积，当微机械陀螺的质量块在柯氏力的作用下产生水平位移时，上下两层结构间的滑膜阻尼系数大大减小，增大了该微机械陀螺的结构灵敏度，将基于纳米光栅检测的微机械陀螺的结构灵敏度提高1~2个数量级，其整体结构紧凑，具有灵敏度高的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 纳米 光栅 检测 微机 陀螺 结构 | ||
【主权项】：
1.一种基于纳米光栅检测的高 Q 值微机械陀螺结构，其特征在于，所述微机械陀螺结构具有一设置固定纳米光栅的凸台，所述凸台实现减小下层固定结构和上层可动结构间的交叠面积；所述微机械陀螺结构还包括一支撑框体，所述支撑框体设置在凸台上方，所述凸台中心处设置固定纳米光栅 ；所述支撑框体中心处设置可动结构；所述微机械陀螺结构包括一个与所述支撑框体长度相同的底框，所述凸台设置在所述底框上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中北大学，未经中北大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510465969.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
