[发明专利]一种CVD工装表面微弧改性工艺有效
| 申请号： | 201510466086.1 | 申请日： | 2015-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN105112976A | 公开（公告）日： | 2015-12-02 |
| 发明（设计）人： | 滑占兰 | 申请（专利权）人： | 深圳市星火辉煌系统工程有限公司 |
| 主分类号： | C25D11/06 | 分类号： | C25D11/06 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 任哲夫 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市盐田*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于CVD设备加工领域，具体涉及一种CVD工装表面微弧改性工艺。本发明通过微弧改性的方式，在工装表面所有位置生成一层改性薄膜，改善了CVD反应腔体内部的工装表面状态，使得表面对反应残留物有更好的附着效果，增强了耐磨性，不易脱落，不易产生微米级的颗粒；提高反应腔体的洁净度，对半导体工艺，特别是对微型显示芯片制造工艺意义重大。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cvd 工装 表面 改性 工艺 | ||
【主权项】：
一种CVD工装表面微弧改性工艺，其特征在于，所述工艺为：先对CVD铝基工装化学脱脂处理，再用电解液对CVD铝基工装进行表面微弧改性处理。
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