[发明专利]一种Z轴磁场加载装置在审
| 申请号： | 201510466709.5 | 申请日： | 2015-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN105158711A | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 欧阳君;李杨;童贝;杨晓非;陈实;刘浏;周卓帆 | 申请（专利权）人： | 瑞声光电科技(常州)有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/18 | 分类号： | G01R33/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213167 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及磁传感器技术领域，具体指一种基于磁致伸缩材料测量Z轴磁场加载装置，它包括声表面波基底，堆栈在所述声表面波基底上的多个磁致伸缩薄膜层，和设置在多个磁致伸缩薄膜层上方的磁通引导器，当外加X轴或Y轴磁场时，进入磁致伸缩薄膜层的磁场大小相同，方向一致，差分计算输出为零；而当外加Z轴磁场时，进入磁致伸缩薄膜层的磁场大小相同，方向相反，通过差分计算输出不为零，即该加载装置可实现对Z轴磁场的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁场 加载 装置 | ||
【主权项】：
1.一种Z轴磁场加载装置，包括一声表面波基底，堆栈在所述声表面波基底上的多个磁致伸缩薄膜层，其特征在于：所述多个磁致伸缩薄膜层相互分离设置且形成第一凹槽，所述Z轴磁场加载装置还包括设置在多个磁致伸缩薄膜层上方的磁通引导器,所述磁通引导器包括设置在磁致伸缩薄膜层上方的支撑引脚，及从所述支撑引脚向远离声表面波基底方向衍生延伸的一磁通引导层。
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