[发明专利]测试图形的形成方法

摘要

一种测试图形的形成方法，通过对原始测试图形库中的原始测试图形进行一系列的变换，最终得到第一测试图形和第二测试图形，将所述第一测试图形和第二测试图形添加至原始测试图形库中，形成新的测试图形库。所述新的测试图形库中除了包括多个原始测试图形外，还包括第一测试图形和第二测试图形，大大丰富了新的测试图形库中的测试图形的种类和数量。因此，后续对客户提供的原始设计图形进行拆解检测时，可获得最优的、最准确的第一设计图形和第二设计图形，有助于后续形成良率更高的产品。

主权项

一种测试图形的形成方法，其特征在于，包括：提供设计图形库，获得设计图形库中设计图形的最小设计线宽，并获得相邻设计图形之间的最小设计间距；提供原始测试图形库，所述原始测试图形库中具有多个原始测试图形，所述多个原始测试图形具有第一线宽，且相邻原始测试图形之间的距离为第一间距；放大所述多个原始测试图形和多个原始测试图形之间的距离，获得多个过渡测试图形，使所述多个过渡测试图形具有第二线宽，相邻过渡测试图形之间的距离为第二间距，其中，所述第二线宽为最小设计线宽的倍数，所述第二间距为最小设计间距的倍数；在相邻过渡测试图形的中心位置添加中间测试图形，所述中间测试图形的长度方向与相邻测试图形的长度方向一致；缩小所述过渡测试图形对应的倍数，得到第一测试图形，放大所述中间测试图形，得到第二测试图形，所述第一测试图形和第二测试图形均具有最小设计线宽，并且所述第一测试图形和第二测试图形之间的距离为最小设计间距；将所述第一测试图形和第二测试图形添加至原始测试图形库中，形成新的测试图形库。