[发明专利]具有翻转装置的拉晶炉在审
申请号: | 201510473444.1 | 申请日: | 2015-08-06 |
公开(公告)号: | CN105019016A | 公开(公告)日: | 2015-11-04 |
发明(设计)人: | 陈磊;刘栓红;赵丽萍;张文涛;蔡水占;郭晶晶;张会超;陈永平;王东胜;惠小青;辛世明;田红丽 | 申请(专利权)人: | 河南鸿昌电子有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/46 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 461500 河南省许昌*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明涉及半导体致冷件生产技术领域的设备,名称是具有翻转装置的拉晶炉,包括炉体,炉体安装在架子上,炉体内部具有炉腔,在炉腔内设置加热装置和多组卡着拉晶管的卡件,加热装置可以对拉晶管进行加热,所述的炉体两端具有多组对应卡件的轴孔,卡件后面安装第一转轴,第一转轴穿过轴孔,在第一转轴外面有小齿轮;在炉体的端部外侧具有转轮,转轮经过转轴安装在架子上,转轮连接第一动力装置,转轮内侧有大齿圈,齿圈和小齿轮啮合,具有不用翻转就可以使拉晶管各处受热均匀、拉晶效果好的优点。 | ||
搜索关键词: | 具有 翻转 装置 拉晶炉 | ||
【主权项】:
具有翻转装置的拉晶炉,包括炉体,炉体安装在架子上,炉体内部具有炉腔,在炉腔内设置加热装置和多组卡着拉晶管的卡件,加热装置可以对拉晶管进行加热,其特征是:所述的炉体两端具有多组对应卡件的轴孔,卡件后面安装第一转轴,第一转轴穿过轴孔,在第一转轴外面有小齿轮;在炉体的端部外侧具有转轮,转轮经过转轴安装在架子上,转轮连接第一动力装置,转轮内侧有大齿圈,齿圈和小齿轮啮合。
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