[发明专利]基于拨杆机构的双工件台换台自转装置

摘要

基于拨杆机构的双工件台换台自转装置，本发明属于半导体制造装备的技术领域。它的第一抓卡机构抓卡在第一环形座上，第二抓卡机构抓卡在第二环形座上，第一直线滑动轴承安装在第一上平台下端面上，第二直线滑动轴承安装在第二上平台下端面上；第一直线导杆的一端垂直安装在第一随动导杆驱动器上，第二直线导杆的一端垂直安装在第二随动导杆驱动器上；第一直线导杆的另一端滑动镶嵌在第一直线滑动轴承内，第二直线导杆的另一端滑动镶嵌在第二直线滑动轴承内。本发明将工件台自转的旋转运动转化为拨杆驱动器的直线运动，可以减小控制系统的设计难度；解决了以往旋转换台方案硅片台相位反转与光学系统配套难的问题。

主权项

基于拨杆机构的双工件台换台自转装置，其特征在于它包括框架（1）、公转电机（2）、第一工作台总成（3）、第二工作台总成（4）、第一直线滑动轴承（5）、第二直线滑动轴承（6）、第一直线导杆（7）、第二直线导杆（8）、第一随动导杆驱动器（9）、第二随动导杆驱动器（10）；第一工作台总成（3）由第一上平台（3‑1）和第一环形座（3‑2）组成；第一环形座（3‑2）通过气浮轴承转动套接在第一上平台（3‑1）的下端转轴上；第二工作台总成（4）由第二上平台（4‑1）和第二环形座（4‑2）组成；第二环形座（4‑2）通过气浮轴承转动套接在第二上平台（4‑1）的下端转轴上；公转电机（2）设置在框架（1）的中心位置上，公转电机（2）的第一抓卡机构（2‑1）抓卡在第一工作台总成（3）的第一环形座（3‑2）上，公转电机（2）的第二抓卡机构（2‑2）抓卡在第二工作台总成（4）的第二环形座（4‑2）上，第一直线滑动轴承（5）安装在第一上平台（3‑1）下端面上，第二直线滑动轴承（6）安装在第二上平台（4‑1）下端面上，第一随动导杆驱动器（9）滑动设置在框架（1）上，第二随动导杆驱动器（10）滑动设置在框架（1）上；第一直线导杆（7）的一端垂直安装在第一随动导杆驱动器（9）上，第二直线导杆（8）的一端垂直安装在第二随动导杆驱动器（10）上；第一直线导杆（7）的另一端滑动镶嵌在第一直线滑动轴承（5）内，第二直线导杆（8）的另一端滑动镶嵌在第二直线滑动轴承（6）内，当公转电机（2）在逆时针旋转180度后再顺时针旋转180度的循环过程中时，第一直线导杆（7）能在第一直线滑动轴承（5）内做直线滑动，能限制第一工作台总成（3）的第一上平台（3‑1）的转动角度为零，第一随动导杆驱动器（9）能跟随第一直线导杆（7）的往复直线滑动动作在框架（1）上做往复直线滑动；第二直线导杆（8）能在第二直线滑动轴承（6）内做直线滑动，能限制第二工作台总成（4）的第二上平台（4‑1）的转动角度为零，第二随动导杆驱动器（10）能跟随第二直线导杆（8）的往复直线滑动动作在框架（1）上做往复直线滑动。