[发明专利]用于转移微型元件的装置

摘要

本发明公开了一种用于转移微型元件的装置，其包含载体与转移元件。载体包含台座、基板以及至少一个第一缓冲层。基板用以允许微型元件暂时性地设置于其上。第一缓冲层设置在台座与基板之间。转移元件包含转移头托座、转移头以及至少一个第二缓冲层。转移头托座能至少沿立轴移动，其中立轴大致垂直于基板。转移头能对微型元件施予抓力。第二缓冲层设置在转移头托座以及转移头之间。根据本发明，缓冲层可变形以吸收对微型元件的冲击力或反作用力，以保护微型元件免于损毁并维持转移头对微型元件的抓力。

主权项

1.一种用于转移微型元件的装置，其特征在于，所述用于转移微型元件的装置包含：载体，其包含：台座；以及基板，其设置于所述台座上，用以允许所述微型元件暂时性地设置于所述基板上；以及转移元件，其包含：转移头托座，其能沿至少一个立轴移动，其中所述立轴垂直于所述基板；转移头，其能对所述微型元件施予抓力；以及至少一个缓冲层，其设置在所述转移头托座与所述转移头之间，其中所述缓冲层的可压缩能力大于所述转移头的可压缩能力。