[发明专利]磁控溅射镀膜线的屏蔽冷却系统在审
| 申请号： | 201510478853.0 | 申请日： | 2015-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN105063564A | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 井治;张仰平;刘锐;罗松松;张超群;王程 | 申请（专利权）人： | 中国建材国际工程集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所 31251 | 代理人： | 王法男 |
| 地址： | 200061 上海市普*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 提供了一种磁控溅射镀膜线的屏蔽冷却系统，包括屏蔽板、铜编织带、冷却管、底架、及连接板，连接板通过螺钉将底架连接起来，冷却管通过螺栓固定至底架，冷却管固定有铜编织带，屏蔽板通过螺钉安装在冷却管上，铜编织带紧密压在屏蔽板和冷却管之间，由此，铜编织带使屏蔽板和冷却管紧密贴合，从而增加传热面积。根据本发明的磁控溅射镀膜线的屏蔽冷却系统，屏蔽板吸附大量的热量，通过铜编织带传导给冷却管，利于镀膜时的散热。同时，屏蔽板也能吸附大量的阴极溅射物，防止溅射物扩散至整个镀膜室，污染镀膜环境，保证了镀膜的质量，同时能有效的阻挡阴极溅射物吸附到冷却管的表面，影响其散热效果。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 镀膜 屏蔽 冷却系统 | ||
【主权项】：
一种磁控溅射镀膜线的屏蔽冷却系统，其特征在于，包括屏蔽板、铜编织带、冷却管、底架、及连接板，所述连接板通过螺钉将所述底架连接起来，所述冷却管通过螺栓固定至所述底架，所述冷却管固定有所述铜编织带，所述屏蔽板通过螺钉安装在所述冷却管上，所述铜编织带紧密压在所述屏蔽板和所述冷却管之间，由此，所述铜编织带使所述屏蔽板和所述冷却管紧密贴合，从而增加传热面积。
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