[发明专利]清洁组合物

摘要

本发明涉及一种用于除去彩色光阻、有机绝缘体和透明树脂的清洁组合物，基于所述组合物的总重量，包含：(a)1～10wt％的季铵盐化合物，(b)40～80wt％的极性溶剂，(c)1～20wt％的由下面的化学式1表示的烷氧基烷基胺，(d)0.1～5wt％的羟胺化合物，(e)1～20wt％的由下面的化学式2表示的酰胺，(f)1～20wt％的亚烷基二醇二烷基醚，(g)0.01～2wt％的无机碱或所述无机碱的盐，和(h)1～40wt％的水。

主权项

1.一种用于除去彩色光阻、有机绝缘体和透明树脂的清洁组合物，基于所述组合物的总重量，包含：(a)1～10wt％的季铵盐化合物，(b)40～80wt％的极性溶剂，(c)1～20wt％的由下面的化学式1表示的烷氧基烷基胺，(d)0.1～5wt％的羟胺化合物，(e)1～20wt％的由下面的化学式2表示的酰胺，(f)4～20wt％的亚烷基二醇二烷基醚，(g)0.01～2wt％的无机碱或所述无机碱的盐，和(h)1～40wt％的水，其特征在于，所述组合物不包含亚烷基二醇单烷基醚，[化学式1]其中，在化学式1中，R1是C1～C6无环或环状的烷氧基，或者是被C1～C6无环或环状的烷基或C1～C3烷氧基取代的C1～C6无环或环状的烷氧基；R2和R3各自独立地是氢或C1～C6无环或环状的烷基；并且n是1至4的整数；[化学式2]其中，在化学式2中，R4、R5和R6各自独立地是氢或C1～C4无环或环状的烷基或苯基。