[发明专利]太阳能电池的后加工设备

摘要

公开了一种太阳能电池的后加工设备。后加工设备执行包括用于对包括半导体基板的太阳能电池进行热处理、同时提供光至太阳能电池的主时段的后加工操作。后加工设备包括用于执行主时段的主区段。主区段包括用于提供热至半导体基板的第一热源单元以及用于提供光至半导体基板的光源单元。第一热源单元和光源单元位于主区段中。光源单元包括由等离子体发光系统(PLS)构成的光源。

主权项

一种太阳能电池的后加工设备，所述后加工设备执行包括用于对具有半导体基板的太阳能电池进行热处理、同时向所述太阳能电池提供光的主时段的后加工操作，所述后加工设备包括：主区段，所述主区段用于执行所述主时段；以及冷却区段，所述冷却区段用于执行用于冷却所述半导体基板的冷却时段，所述冷却时段在所述主时段之后执行，其中所述主区段包括用于向所述半导体基板提供热量的第一热源单元以及用于向所述半导体基板提供光的光源单元，所述第一热源单元和所述光源单元位于所述主区段中，并且所述光源单元包括由等离子体发光系统PLS构成的光源。