[发明专利]一种固体氧化物表面结构的测定方法有效
| 申请号： | 201510482145.4 | 申请日： | 2015-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN105241910B | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 彭路明;陈蓉;沈丽;刘潇;陈俊超;曹坤;单斌 | 申请（专利权）人： | 南京大学;华中科技大学 |
| 主分类号： | G01N24/08 | 分类号： | G01N24/08;G01N1/28 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所32207 | 代理人： | 黄嘉栋 |
| 地址： | 210093 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于原子层沉积和固体核磁共振的固体氧化物表面结构测定方法。本发明采用原子层沉积技术将薄层氧化物沉积在固体表面，然后借助固体核磁共振技术实现针对位于固体表面的氧化物结构进行选择测定，根据测定结果判断固体氧化物表面结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固体 氧化物 表面 结构 测定 方法 | ||
【主权项】：
一种固体氧化物表面结构的测定方法，其特征是包括如下步骤：步骤1：将氧化物样品经过焙烧处理，使其表面吸附物种脱附；步骤2：将步骤1中处理好的样品置于原子层沉积的反应腔中，根据氧化物的性质设置沉积温度，沉积过程分两个半反应：第一步是前驱体脉冲进入反应腔，在氧化物表面化学吸附进行第一个半反应，接着除去多余的前驱体；第二步是17O同位素标记的H217O脉冲进入反应腔，进行第二个半反应，生成17O同位素标记的氧化物；步骤3：将步骤2得到的氧化物装入转子，用17O固体核磁共振谱学表征，根据17O固体核磁共振谱判断固体氧化物表面结构。
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