[发明专利]多晶硅生产过程中含氯硅烷浆料连续回收专用系统及方法有效
| 申请号： | 201510483600.2 | 申请日： | 2015-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN105152171A | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 高桢祺;郭波;刘佳;涂夏明;翁博丰;宋安宁;刘全旺;李晓卓 | 申请（专利权）人： | 陕西天宏硅材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 宋秀珍 |
| 地址： | 710006 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 提供一种多晶硅生产过程中含氯硅烷浆料连续回收专用系统及方法，浆料按照设计流量连续输送至烘干机，利用蒸汽间接加热，将低沸点的氯硅烷冷凝回收，通过烘干机排料口物料取样检测烘干机排出物料的含固率，从而调节烘干机温度将浆料处理达到含固率80％的渣浆，再将渣浆使用螺杆泵排至喷淋塔循环槽进行水解中和反应，水解气体经氢氧化钙溶液淋洗后高空排放，回收的氯硅烷检测合格后输送至主工艺单元回收利用。本发明实现浆料的连续烘干处理，浆料的处理能力大大提升、回收率高、氯硅烷回收质量好，保障主工艺单元回收利用，烘干后的渣浆通过螺杆泵缓慢输送至水解系统进行水解中和反应，避免烘干机一次性排渣水解反应产生氢气及热量，系统运行更加安全稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产过程 中含氯 硅烷 浆料 连续 回收 专用 系统 方法 | ||
【主权项】：
多晶硅生产过程中含氯硅烷浆料连续回收专用系统，具有浆料搅拌罐(1)，其特征在于：所述浆料搅拌罐(1)顶部设有循环水冷凝器Ⅰ(2)，浆料搅拌罐(1)出口端与烘干机(3)入口端连通，所述烘干机(3)的一个出口端与螺杆泵(4)的入口端连通，所述螺杆泵(4)的出口端与喷淋塔循环槽(8)入口端连通，所述喷淋塔循环槽(8)的一个出口端与喷淋塔(9)连通，喷淋塔循环槽(8)的另一个出口端与下游废水单元(10)入口端连通；所述烘干机(3)的另一个出口端与设置在氯硅烷回收罐(6)顶部的循环水冷凝器Ⅱ(5)入口端连通，所述氯硅烷回收罐(6)顶部还设有乙二醇换热器(7)。
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