[发明专利]卷对卷制程设备及其系统

摘要

本发明公开了一种卷对卷制程设备，适用于在一基板上进行一化学反应。基板具有相对的第一板面及第二板面。卷对卷制程设备包括一反应槽、一收卷单元、一放卷单元及一加热装置。反应槽设有一开口，反应槽用以容置一化学药液。开口提供基板的第一板面与反应槽内的化学药液接触。收卷单元及放卷单元分别对应设置于反应槽的相对两侧。加热装置设置于收卷单元与放卷单元之间且对应开口。加热装置用以加热基板的第二板面，使基板升温并与化学药液产生化学反应。

主权项

一种卷对卷制程设备(110)，适用于在一基板(100)上进行一化学反应，该基板(100)具有相对的一第一板面(104)及一第二板面(106)，其特征在于，该卷对卷制程设备(110)包括:一反应槽(200)，设有一开口(202)，该反应槽(200)用以容置一化学药液(210)，该开口(202)提供该基板(100)的该第一板面(104)与该反应槽(200)内的该化学药液(210)接触；一收卷单元(250)及一放卷单元(270)，分别对应设置于该反应槽(200)的相对两侧，该收卷单元(250)用以卷入该基板(100)，该放卷单元(270)用以卷出该基板(100)；以及一加热装置(300)，设置于该收卷单元(250)与该放卷单元(270)之间且对应该反应槽(200)的该开口(202)，该加热装置(300)用以加热该基板(100)的该第二板面(106)，使该基板(100)升温并与该化学药液(210)产生该化学反应。