[发明专利]一种厚铜板的外层蚀刻方法有效
| 申请号： | 201510487442.8 | 申请日： | 2015-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN105208781B | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 陈广龙;白会斌;胡志勇 | 申请（专利权）人： | 江门崇达电路技术有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 冯筠 |
| 地址： | 529000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及PCB生产制造技术领域，具体为一种厚铜板的外层蚀刻方法。本发明通过采用两次蚀刻并在两次蚀刻中改变厚铜板的上下朝向，使厚铜板的两个表面都分别有一次朝向下方接受蚀刻液由下往上喷淋，同时调整厚铜板经过蚀刻缸的速度及调整蚀刻液的喷淋压力和蚀刻液的浓度等工艺参数，调整后的工艺参数与两次蚀刻方式配合，使厚铜板的外层蚀刻均匀性好，线路密集区域可蚀刻干净，而线路较少的区域也不会出现蚀刻过度，蚀刻线幼的问题。通过本发明方法对厚铜板进行外层蚀刻的蚀刻效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 厚铜板 外层蚀刻 蚀刻液 均匀性好 密集区域 蚀刻线 喷淋 上喷 制造 配合 | ||
【主权项】：
1.一种厚铜板的外层蚀刻方法，所述厚铜板包括第一表面和第二表面，其特征在于，所述外层蚀刻包括以下步骤：S1一次蚀刻：使厚铜板水平经过蚀刻缸，且第一表面朝上，第二表面朝下；部分蚀刻液由上往下喷向第一表面，部分蚀刻液由下往上喷向第二表面；其中蚀刻液中的[Cl‑]为165‑215g/L，[Cu2+]为125‑155g/L；S2一次微蚀：用微蚀液喷淋厚铜板，然后再用水清洗厚铜板；S3二次蚀刻：使厚铜板水平经过蚀刻缸，且第二表面朝上，第一表面朝下；部分蚀刻液由上往下喷向第二表面，部分蚀刻液由下往上喷向第一表面；其中蚀刻液中的[Cl‑]为165‑215g/L，[Cu2+]为125‑155g/L；S4二次微蚀：用微蚀液喷淋厚铜板，然后再用水清洗厚铜板。
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