[发明专利]一种真空下多探针摩擦磨损测试及原位形貌探测系统有效
| 申请号： | 201510488002.4 | 申请日： | 2015-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN105181501B | 公开（公告）日： | 2018-01-16 |
| 发明（设计）人： | 余丙军;张超杰;钱林茂;陈磊;高健;金晨宁 | 申请（专利权）人： | 西南交通大学 |
| 主分类号： | G01N3/56 | 分类号： | G01N3/56 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙)51227 | 代理人： | 周永宏,王伟 |
| 地址： | 610031 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空下多探针摩擦磨损测试及原位形貌探测系统，包括主体和外部手动驱动装置；所述主体包括腔体上盖、安装在腔体上盖上面用于密封的光窗顶盖和安装腔体上盖内部的多探针组件；其能在高真空下实现对具有不同功能的SPM针尖切换，使摩擦学测试及原位形貌探测在高真空环境下可相继完成，且原位定位精度较高。由于更换针尖时无须打开腔体，确保了实验样品不受外界因素干扰，使实验所得结果更为真实可信；不仅如此，也节省了实验前期设备调整校准时间，提高实验效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 探针 摩擦 磨损 测试 原位 形貌 探测 系统 | ||
【主权项】：
一种真空下多探针摩擦磨损测试及原位形貌探测系统，其特征在于：包括主体和外部手动驱动装置(9)；所述主体包括腔体上盖(1)、安装在腔体上盖(1)上面的光窗顶盖(2)和安装腔体上盖(1)内部的多探针组件；所述多探针组件包括多个探针(12)、用于承载探针(12)并携其原位切换定位的运动平板(4)、连接在运动平板(4)一侧的过渡板(5)、导轨(6)和用于驱动导轨(6)的连接板(7)；所述导轨(6)分别与过渡板(5)和连接板(7)的一端连接；所述连接板(7)的另一端与外部手动驱动装置(9)内部的短轴(8)连接；所述探针(12)设置在运动平板(4)上。
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