[发明专利]一种图案化石墨烯及其制备方法和用途有效

专利信息
申请号: 201510489098.6 申请日: 2015-08-11
公开(公告)号: CN105040095B 公开(公告)日: 2018-03-23
发明(设计)人: 方英;李昕明;李莉;杜明德 申请(专利权)人: 国家纳米科学中心
主分类号: C30B23/04 分类号: C30B23/04
代理公司: 北京品源专利代理有限公司11332 代理人: 巩克栋,侯桂丽
地址: 100190 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种图案化石墨烯及其制备方法和用途,所述图案化石墨烯的制备方法为在铜箔表面形成由石墨片组成的目标图案,之后,以石墨片为碳源加热生长得到具有目标图案的石墨烯。本发明提供的图案化石墨烯的制备方法以石墨片为碳源,以铜箔为催化剂,可预先控制所要制备的石墨烯的图案形状,有效地解决了后续微纳加工程序复杂的问题及在柔性基底上加工制备石墨烯器件的难题,提供了工业化制备大面积复杂结构石墨烯的可能性;并且碳源的利用率高,操作简单,制备效率高;制得的图案化石墨烯质量高,石墨烯无损伤,应用广泛。
搜索关键词: 一种 图案 化石 及其 制备 方法 用途
【主权项】:
一种图案化石墨烯的制备方法,其特征在于,所述制备方法为:在铜箔表面形成由石墨片组成的目标图案,之后,以石墨片为碳源加热生长得到具有目标图案的石墨烯;其中,所述石墨片的尺寸为2~10微米,厚度为2~5纳米;所述得到由石墨片组成的目标图案的方法为光学曝光法、纳米压印法、喷墨打印法或阴影掩膜法中的任意一种。
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