[发明专利]一种制备氧化锌微米管的方法有效
申请号: | 201510493163.2 | 申请日: | 2015-08-12 |
公开(公告)号: | CN105110363B | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
发明(设计)人: | 王亮;陆文强;冯双龙;李昕;李振湖;石彪 | 申请(专利权)人: | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
主分类号: | C01G9/02 | 分类号: | C01G9/02 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 尹丽云 |
地址: | 400714 *** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本发明提供一种制备氧化锌微米管的方法,应用于微米管制备领域,所述方法包括:提供一表面旋涂有光刻胶的氮化镓衬底和硝酸锌与六次甲基四按相同配置比例混合得到的混合溶液;对所述氮化镓衬底旋涂有光刻胶的一面进行光刻处理,在所述氮化镓衬底上制备得到孔阵列;将制备有所述孔阵列的所述氮化镓衬底置于所述混合溶液中进行反应,且于所述孔阵列的各孔边沿处制备得到纵向生长的氧化锌微米管。本发明相对现有的微米管制备方法,其制备过程简单,设备要求低,可控性好,可以实现快速、高效、大规模可控制备。 | ||
搜索关键词: | 一种 制备 氧化锌 微米 方法 | ||
【主权项】:
一种制备氧化锌微米管的方法,其特征在于,包括:提供一表面旋涂有光刻胶的氮化镓衬底和硝酸锌与六次甲基四按相同配置比例混合得到的混合溶液;对所述氮化镓衬底旋涂有光刻胶的一面进行光刻处理,在所述氮化镓衬底上制备得到孔阵列;将制备有所述孔阵列的所述氮化镓衬底置于所述混合溶液中进行反应,且于所述孔阵列的各孔边沿处制备得到纵向生长的氧化锌微米管。
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