[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体

摘要

本发明提供一种物理量传感器、电子设备以及移动体，其耐冲击且具有优异的机械强度。物理量传感器(1)具有：底基板(2)；可动部(33)；设置在可动部(33)上的多个可动电极指(361～365)；设置在底基板(2)上的固定电极指(381～388)；将可动部(33)固定于底基板(2)的固定部(31、32)，在可动电极指(361～365)中包含有在X轴方向上与固定部(31、32)对置的可动电极指(361、365)，可动电极指(361、365)与固定部(31、32)之间的分离距离小于可动电极指(361～365)与固定电极指(381～388)之间的分离距离，可动电极指(361、365)的宽度大于其他的可动电极指(362、363、364)。

主权项

1.一种物理量传感器，其特征在于，在将X轴、Y轴以及Z轴设为相互正交的三个轴时,所述物理量传感器包含：底基板；可动部，其能够相对于所述底基板而在所述X轴方向上进行位移；多个可动电极指，所述可动电极指被设置在所述可动部上，且多个所述可动电极指沿着所述X轴方向被配置；固定电极指，其被设置在所述底基板上，并在所述X轴方向上与所述可动电极指对置配置；固定部，其以在所述Z轴方向上与所述底基板重叠的方式使所述可动部以能够在所述X轴方向上进行位移的方式固定于所述底基板，多个所述可动电极指包含：在从所述Z轴方向俯视观察时位于所述可动部的中央部的第一可动电极指；与所述第一可动电极指相比位于所述可动部的所述X轴方向的端部侧的第二可动电极指；与所述第二可动电极指相比位于所述可动部的所述X轴方向的端部侧的第三可动电极指，在设所述第一可动电极指的沿所述X轴的宽度为W1、所述第二可动电极指的沿所述X轴的宽度为W2、所述第三可动电极指的沿所述X轴的宽度为W3时，满足W1＜W2＜W3，所述第三可动电极指沿所述X轴与所述固定部对置，在设所述第三可动电极指与所述固定部的沿所述X轴的分离距离为D1、以所述第一可动电极指或所述第二可动电极指与所述固定电极指的沿所述X轴的分离距离为D3时，满足D1＜D3。