[发明专利]激光光线的光点形状检测方法

摘要

激光光线的光点形状检测方法。包括：凹面镜保持工序，在被加工物保持单元上保持反射面为球面的凹面镜；分支单元定位工序，将分支单元定位于作用位置处，该分支单元使激光光线从激光光线振荡单元向聚光器通过，并且将由聚光器会聚且被保持于被加工物保持单元的凹面镜的反射面反射的反射光引导至反射光检测路径；焦点定位工序，将聚光器的焦点定位于包括形成保持于被加工物保持单元的凹面镜的反射面的球面中心的附近处；激光光线照射工序，使激光光线振荡单元进行工作，将由聚光器会聚的激光光线照射到保持于被加工物保持单元的凹面镜上；以及摄像工序，通过摄像单元对被凹面镜的反射面反射且由分支单元引导至检测路径的反射光进行摄像而取得图像。

主权项

1.一种激光加工装置中的激光光线的光点形状检测方法，对由该激光加工装置中的激光光线振荡单元振荡出且由该激光加工装置中的聚光器会聚的激光光线的光点形状进行检测，其中，该激光加工装置具有：保持被加工物的被加工物保持单元；以及对保持于该被加工物保持单元的被加工物照射激光光线的激光光线照射单元，该激光光线照射单元具有：振荡出激光光线的该激光光线振荡单元；以及该聚光器，其会聚由该激光光线振荡单元振荡出的激光光线而对保持于该被加工物保持单元的被加工物进行照射，该光点形状检测方法的特征在于，包括：凹面镜保持工序，在该被加工物保持单元上保持反射面为球面的凹面镜；分支单元定位工序，将分支单元定位于作用位置处，该分支单元使激光光线在该激光光线振荡单元与该聚光器之间从该激光光线振荡单元向该聚光器通过，并且将由该聚光器会聚且被保持于该被加工物保持单元的凹面镜的反射面反射的反射光引导至反射光检测路径；焦点定位工序，将该聚光器的焦点定位于包括球面的中心的附近处，该球面形成保持于该被加工物保持单元的凹面镜的反射面；激光光线照射工序，使该激光光线振荡单元进行工作，将由该聚光器会聚的激光光线照射到保持于该被加工物保持单元的凹面镜上；以及摄像工序，通过摄像单元对被保持于该被加工物保持单元的凹面镜的反射面反射且由该分支单元引导至检测路径上的反射光进行摄像而取得图像。