[发明专利]一种超光滑金属薄膜表面的制备方法有效
申请号: | 201510497034.0 | 申请日: | 2015-08-13 |
公开(公告)号: | CN105177502B | 公开(公告)日: | 2017-12-15 |
发明(设计)人: | 董光能;秦立果;吴红星 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | C23C14/18 | 分类号: | C23C14/18;C23C14/24;C23C14/58 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司61200 | 代理人: | 陆万寿 |
地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开一种超光滑金属薄膜表面的制备方法,包括步骤一、制备云母软基片;步骤二、在云母软基片表面真空蒸镀一层金属薄膜;步骤三、通过粘接剂与金属薄膜间的初粘力使金属薄膜片均匀地贴附到基底上;固化后云母软基片、金属薄膜层及基底的三明治夹层结构;步骤四、将步骤三中的三明治夹层结构浸泡于溶剂中,用镊子夹持基底,在溶剂中轻微的晃动或是轻柔地拖拽云母软基片,利用溶剂的表面张力去除最外层的云母软基片,得到了超光滑的金属薄膜表面。通过本发明可以获得大面积的柔性金属薄膜,利用粘接剂的贴合,优化云母软基片的剥离过程,可实现在多种基体上制备超光滑金属薄膜,其粗糙度可达到原子级别,且适合大规模生产的表面处理工艺。 | ||
搜索关键词: | 一种 光滑 金属 薄膜 表面 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种超光滑金属薄膜表面的制备方法,其特征在于,包括下列步骤:步骤一、云母软基片的制备采用机械剥离的方法将云母基片A逐层剥离,直至自然光下观察到分离后的云母片在倾斜角度10°‑30°时呈现出绿色时,停止剥离;选取颜色一致的区域,切割获得云母软基片;然后将云母软基片贴在云母基片B上,所述云母软基片的厚度为2μm;步骤二、金属薄膜制备在云母软基片表面真空蒸镀一层金属薄膜;步骤三、三明治夹层结构制备将基底清洗干净并均匀涂抹一层粘接剂,将步骤二中的云母软基片取下,通过粘接剂与金属薄膜间的初粘力使金属薄膜片均匀地贴附到基底上;固化后形成云母软基片、金属薄膜层及基底的三明治夹层结构;步骤四、云母软基片的去除将步骤三中的三明治夹层结构浸泡于溶剂中,用镊子夹持基底,在溶剂中轻微的晃动或是轻柔地拖拽云母软基片,利用溶剂的表面张力去除最外层的云母软基片,得到了超光滑的金属薄膜表面,所述溶剂为无水乙醇或超纯水。
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