[发明专利]一种教学用扫描电子显微镜在审
| 申请号： | 201510498386.8 | 申请日： | 2015-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN105097391A | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 曾玥 | 申请（专利权）人： | 成都格瑞思文化传播有限公司 |
| 主分类号： | H01J31/28 | 分类号： | H01J31/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610000 四川省成都市锦江*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开一种教学用扫描电子显微镜，包括壳体、电子枪、散光像差补偿器和样品台，所述电子枪设在壳体顶部，所述电子枪下方依次设置有阳极和会聚光圈，所述会聚光圈内依次设置有聚光镜头一和聚光镜头二，所述散光像差补偿器设在聚光镜头二下方，所述散光像差补偿器一侧设置有调节手柄，所述散光像差补偿器下方设置有偏转线圈，所述样品台上设置有聚光镜头三，所述聚光镜头三呈倾角设置，所述壳体底部设置有真空装置，所述真空装置与壳体无缝连接，该教学用扫描电子显微镜操作方便，显示效果好，方便维护，非常适合教学使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 教学 扫描 电子显微镜 | ||
【主权项】：
一种教学用扫描电子显微镜，其特征在于：包括壳体、电子枪、散光像差补偿器和样品台，所述电子枪设在壳体顶部，所述电子枪下方依次设置有阳极和会聚光圈，所述会聚光圈内依次设置有聚光镜头一和聚光镜头二，所述散光像差补偿器设在聚光镜头二下方，所述散光像差补偿器一侧设置有一侧设置有调节手柄，所述散光像差补偿器下方设置有偏转线圈，所述样品台上设置有聚光镜头三，所述聚光镜头三呈倾角设置，所述壳体底部设置有真空装置，所述真空装置与壳体无缝连接。
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