[发明专利]闪蒸沉积装置在审
| 申请号： | 201510498885.7 | 申请日： | 2015-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN105088139A | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 王开安;孙静茹;黄仲漩 | 申请（专利权）人： | 奥昱新材料技术（嘉兴）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林松海 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种闪蒸沉积装置。所述闪蒸沉积装置包括液体输送系统，用来产生有机材料的细小液滴；加热器，用来蒸发所述细小液滴以产生蒸气材料，蒸气材料被引向衬底，所述有机材料沉积在衬底上；以及辐射屏蔽罩用来将所述液体输送系统与所述加热器屏蔽开。本发明所公开的沉积装置可消除薄膜材料长时间，不利的过热，并能防止有机材料由于过热所导致的降解，分解或不利的反应。 | ||
| 搜索关键词： | 闪蒸 沉积 装置 | ||
【主权项】：
一种闪蒸沉积装置，包括：液体输送系统，用来产生有机材料的细小液滴；加热器，用来蒸发所述有机材料的细小液滴以产生蒸气材料并引向衬底，所述有机材料被沉积在衬底上；以及辐射屏蔽罩，用来将所述加热器与所述液体输送系统屏蔽开。
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