[发明专利]一种微纳米图形化蓝宝石衬底及其制备方法在审
| 申请号： | 201510500814.6 | 申请日： | 2015-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN106469769A | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | 吴飞翔;林海凤;杜治新;汪健;董发;李鹏飞 | 申请（专利权）人： | 南通同方半导体有限公司;同方股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/22 | 分类号： | H01L33/22;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226015 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种微纳米图形化蓝宝石衬底及其制备方法，涉及半导体技术领域。本发明微纳米图形化蓝宝石衬底包括微米图形蓝宝石衬底和在所述微米图形蓝宝石衬底上制作的纳米图形结构。同现有技术相比，本发明在微米图形化蓝宝石衬底基础上，通过软模板纳米压印技术来制作纳米周期结构，形成微纳米结构的图形化蓝宝石衬底，可有效增加芯片的正面出光，减少蓝宝石对LED芯片光的吸收，从而提升LED亮度，增强LED发光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 图形 蓝宝石 衬底 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种微纳米图形化蓝宝石衬底，其特征在于：它包括微米图形蓝宝石衬底（1）和在所述微米图形蓝宝石衬底（1）上制作的纳米图形结构（2）。
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