[发明专利]膜片式薄膜压力传感器

摘要

本发明公开了一种膜片式薄膜压力传感器，包括一个外壳体，一个焊接在所述外壳体底部中心的应变膜片，一个固定于所述外壳体内部的电路板，其特征在于，所述应变膜片是采用4英寸或6英寸或10英寸的不锈钢或钛合金大片膜片材料，通过离子束溅射分别沉积绝缘膜、应变膜、焊盘膜、保护膜，然后光刻形成惠斯通电桥电路后切割分离的。另外，大片膜片材料最薄可为0.03mm，可以制造50kPa小量程压力传感器产品。由于采用大片膜片材料批量化生产弹性体，生产效率高，生产成本低，并保留了薄膜压力传感器的优良性能，克服了现有薄膜压力传感器的成本高、小量程产品生产困难的缺点，产品在军工、民用等领域得到广泛应用。

主权项

一种膜片式薄膜压力传感器，包括一个外壳体(7)，一个焊接在所述外壳体(7)底部中心的应变膜片(8)，一个固定于所述外壳体(7)内部的电路板(9)，其特征在于，所述应变膜片(8)是采用4英寸或6英寸或10英寸的不锈钢或钛合金大片膜片材料，通过离子束溅射分别沉积绝缘膜、应变膜、焊盘膜、保护膜，然后光刻形成惠斯通电桥电路(12)后切割分离的。