[发明专利]彩膜修复机及彩膜修复方法有效

专利信息
申请号: 201510506980.7 申请日: 2015-08-18
公开(公告)号: CN105093584B 公开(公告)日: 2018-09-14
发明(设计)人: 徐海乐;李启明;吴利峰;朱晓江;丁鹏;方仲贤 申请(专利权)人: 武汉华星光电技术有限公司
主分类号: G02F1/13 分类号: G02F1/13
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫;熊永强
地址: 430070 湖北省武汉市*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种彩膜修复机,用于修复彩膜基板,包括驱动装置、第一感测器、第二感测器、研磨装置和清洁装置,所述驱动装置用于控制所述第一感测器、所述第二感测器及所述研磨装置的位移,所述第一感测器和所述第二感测器靠近所述研磨装置而设置,所述研磨装置能够相对于所述第一感测器和所述第二感测器上下运动,所述第一感测器、所述第二感测器与所述研磨装置相互配合对所述彩膜基板进行修复,所述清洁装置用于清洁所述第一感测器和所述第二感测器。所述彩膜修复机可以避免由于感测模块所带来的二次污染,并且保证感测模块测量高度的准确性。本发明还公开一种彩膜修复方法。
搜索关键词: 修复 方法
【主权项】:
1.一种彩膜修复机,用于修复彩膜基板,其特征在于,包括驱动装置、第一感测器、第二感测器、研磨装置和清洁装置,所述驱动装置用于控制所述第一感测器、所述第二感测器及所述研磨装置的位移,所述第一感测器和所述第二感测器靠近所述研磨装置而设置,所述研磨装置能够相对于所述第一感测器和所述第二感测器上下运动,所述第一感测器、所述第二感测器与所述研磨装置相互配合对所述彩膜基板进行修复,所述清洁装置包括清洗单元和干燥单元,所述清洗单元用于清洗所述第一感测器和所述第二感测器,所述干燥单元用于干燥清洗后的所述第一感测器和所述第二感测器。
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