[发明专利]基于45°光纤的非本征光纤珐珀加速度传感器及加工方法

摘要

本发明基于45°光纤的非本征光纤珐珀加速度传感器及加工方法属于加速度传感器技术领域；该传感器包括一个硅支撑结构，一根从硅支撑结构侧面贴靠底部插入的研抛端面为45°的光纤，设置在硅支撑结构顶部的质量块，硅支撑结构与质量块构成珐珀腔；质量块为中间厚，四周薄的结构，质量块的下表面镀有反射膜；该方法首先加工硅支撑结构和下表面镀有反射膜的质量块，然后将硅支撑结构顶端与质量块镀有反射膜的面键合在一起，再将光纤从光纤插口插入并调整，最后将光纤插口密封；本发明不仅能够满足贴合于被测物表面使用的技术需求，而且能够解决共轴型非本征型光纤珐珀腔加速度传感器稳定性差的问题。

主权项

基于45°光纤的非本征光纤珐珀加速度传感器，其特征在于，包括一个硅支撑结构(1)，一根从硅支撑结构(1)侧面贴靠底部插入的研抛端面为45°的光纤(2)，设置在硅支撑结构(1)顶部的质量块(3)，硅支撑结构(1)与质量块(3)构成珐珀腔；所述的质量块(3)为中间厚，四周薄的结构，质量块(3)的下表面镀有反射膜，质量块(3)的中间设置有圆形凸起。