[发明专利]一种压阻式压力传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种压阻式压力传感器及其制备方法，该压力传感器包括LCP衬底、LCP薄膜层、金属电极、石墨烯薄膜层和石墨烯阵列层；LCP薄膜层固定连接在LCP衬底上，LCP薄膜层中设有阵列式结构的通孔，金属电极连接在LCP薄膜层两端的上方，石墨烯薄膜层连接在LCP薄膜层上，且石墨烯薄膜层填充金属电极之间的空隙和覆盖金属电极；石墨烯阵列层填充在LCP薄膜的通孔中，且石墨烯薄膜层和石墨烯阵列层连接。该压力传感器不仅具有了衬底可弯曲变形的优点，还具有良好的灵敏度，能够广泛使用于生物医学、可穿戴设备等领域。

主权项

一种压阻式压力传感器的制备方法，其特征在于，该制备方法包括以下步骤：第一步：对单面覆有金属薄层(6)的LCP薄膜层(2)进行激光打孔，构成阵列式结构的通孔；第二步：利用迭片热压将LCP薄膜层(2)与LCP衬底(1)粘合；第三步：在覆有金属薄层(6)的LCP薄膜层(2)的两端涂上光刻胶层(5)；第四步：对未被光刻胶层(5)覆盖的金属薄层(6)进行腐蚀；第五步：去除光刻胶层(5)，形成金属电极(3)；第六步：将石墨烯阵列层(7)填充在LCP薄膜(2)的通孔中，将石墨烯薄膜层(4)连接在LCP薄膜层(2)上，且石墨烯薄膜层(4)填充金属电极(3)之间的空隙和覆盖金属电极(3)，从而制成压力传感器；所述压力传感器包括LCP衬底(1)、LCP薄膜层(2)、金属电极(3)、石墨烯薄膜层(4)和石墨烯阵列层(7)；LCP薄膜层(2)固定连接在LCP衬底(1)上，LCP薄膜层(2)中设有阵列式结构的通孔，金属电极(3)连接在LCP薄膜层(2)两端的上方，石墨烯薄膜层(4)连接在LCP薄膜层(2)上，且石墨烯薄膜层(4)填充金属电极(3)之间的空隙和覆盖金属电极(3)；石墨烯阵列层(7)填充在LCP薄膜(2)的通孔中，且石墨烯薄膜层(4)和石墨烯阵列层(7)连接。