[发明专利]具有侧部摩擦力调整机构的粘滑驱动跨尺度精密定位平台

摘要

一种具有侧部摩擦力调整机构的粘滑驱动跨尺度精密定位平台，包括基台、滑块、滑台、导轨、叠堆型压电陶瓷致动器，滑台与滑块之间设有侧部摩擦力调整机构，包括调整柔性铰链、摩擦块、调整压电陶瓷及其对调整压电陶瓷进行预紧的调整预紧螺栓，该摩擦力调整机构置于惯性质量块上并与惯性质量块加工成一体。实现对滑块与滑台之间的摩擦力进行粗调、细调。由此避免负载变化在传统粘滑驱动跨尺度精密定位平台而引起滑块与滑台之间摩擦力变化，提高粘滑驱动跨尺度精密定位平台的负载能力，并简化了粘滑驱动平台的与激励调整方式，易于加工和装配，提高了粘滑驱动跨尺度精密运动平台输出性能、运动精度和一致性，适合批量生产。

主权项

一种具有侧部摩擦力调整机构的粘滑驱动跨尺度精密定位平台，其特征在于，包括：基台，所述基台包括基座、预紧柔性铰链、驱传动柔性铰链、惯性质量块；压电陶瓷，所述压电陶瓷安装在所述基座与所述惯性质量块之间；侧部摩擦力调整机构，所述侧部摩擦力调整机构包括调整柔性铰链、调整压电陶瓷及调整预紧螺栓；滑台，所述滑台安装在所述基座上方；滑块，所述滑块安装在所述调整柔性铰链的一侧；调整所述调整预紧螺栓，使所述调整柔性铰链发生变形，实现所述滑块与所述滑台之间摩擦力的粗调，再对所述调整压电陶瓷施加驱动信号，使调整柔性铰链发生变形，实现所述滑块与所述滑台之间摩擦力的细调。